SMIF PORT

SMIF PORT——8寸标准晶圆装载系统：

200mm(8英寸)标准机械接口(SMIF)用于放置和开关装载了200mm晶圆的SMIFPOD。此项技术利用单一系统的迷你环境，将晶圆在被传输过程中隔离， 避免晶圆受到污染。在提高生产良率的同时， 也大大降低了无尘室的洁净度维护成本。

果纳半导体研发生产的200mm SMIF符合SEMIE194、S2和S9标准，可实现全自动化晶圆传输。果纳200mmSMIF运用先进的高精度运动系统和检测系统 ，加上自研的控制算法，除了可 以实现基本的 SMIF POD、 晶圆和cassette 的有无检测外，还可检测晶圆的突片 、斜片以及晶圆厚度。