Sorter

Sorter——晶圆分选机：

果纳晶圆分选机是一种将晶圆按指定路径自动传输的设备，可分选直径200mm和300mm的晶圆。

可以兼容所有符合SEMI标准的FOUP、FOSB、OCS和金属料盒。

可根据客户需求选择订制晶圆承载台数量，可以安装在框架前面和背面(N=2、3、4、6、8)。

果纳晶圆分选机配置了优化的微型环境设计，可提供一流的清洁度，可达到ISOClass 1级别的要求。

果纳晶圆分选机提供多种可选功能配置，晶圆读码，翻转机构和化学过滤器。

产品特点：

• wafer lD读码器
  
• 离子棒
  
• 光幕
  
• 多种料盒
  
• 多种类化学过滤器
  
• RFID读码器
  
• 条形码读码器
  
• 支持8寸，12寸晶圆传输
  
• 充氮气料盒载具
  
• 半导体工厂标准传输协议
  

条款 ▼                                       规格▼

-正常运行时间                            ≥98%

-平均故障间隔时间                     ≥3,000 hours

-平均修复时间                            ≤0.5 hours

-设备平均故障周期                     ≥10,000 cycles

-援助平均间隔时间                     ≥750 hours

-晶圆刮伤率                               ≤1/1,000,000

-无警报循环次数                        ≥30,000 cycles

-晶圆ID读取失败率                     ≤0.5%

-晶圆传输量（含0CR)                 ≥300

产品类型介绍：