EFEM

EFEM——设备前端模块：

果纳EFEM采用固定式多关节单臂双叉型机器人，具有更高的稳定性，更高的传片效率，以及长期使用的高洁净度要求。

具有优异的内部气流导向结构设计，保证了内部空间微环境的洁净度满足ISO Class1级别要求。

可以兼容所有符合SEMI标准的FOUP、FOSB、OCS和金属料盒。

可根据客户需求选择订制晶圆承载台数量，可以安装在框架前面和背面(N=2、3、4、5)。

提供多种可选功能配置，晶圆读码，翻转机构和化学过滤器。

特点：

• 离子棒 
  
• 光幕
  
• 多种料盒 
  
• 多种类化学过滤器 
  
• 读码器 
  
• 条形码读码器 
  
• 支持8寸，12寸晶圆传输 
  
• 充氮气料盒载具 
  
•  ID读码器
  

数据的可靠性/可用性/可维护性：

条款 ▼                                       规格▼

-正常运行时间                            ≥98%

-平均故障间隔时间                     ≥2,000 hours

-平均修复时间                            ≤0.5 hours

-设备平均故障周期                     ≥10.000 cycles

-援助平均间隔时间                     ≥750 hours

-晶圆刮伤率                               ≤1/100,000

-无警报循环次数                        ≥30.000 cycles

-晶圆ID读取失败率                    ≤0.5%

布局：

产品类型介绍：