OLUS

OLUS人工晶圆装载系统：

• 工作方式任意设置
  
• 完整FOUP到位等检测功能
  
• 安全光幕保护，防止误操作
  
• E84通信及RFID信息读取，实现与MCS间TCPMP方式的信息互传
  
• 触摸式工控机控制实现信息显示的完整及操作便利
  

-本体重量                           ≤100Kg

-洁净等级                          Class100

-供电                                 220VAC±10% 50Hz