Stocker

Stocker存储设备：

洁净立体仓库(Clean Stocker )是AMHS( Automated Material Handing System, 自动化物料搬运系统 )中的关键组件， 专为半导体生产线提供高效的物料存储与管理解决方案。通过集成专用堆垛机、物料存储单元以及自动和手动的物料进出口，它能够在高洁净度环境下存储晶圆载具( 如 FOUP和 FOSB),并 且作为缓冲区来平衡设备及工艺间的产能差异，确保生产线的平稳运行。

该系统不仅具备高存储容量， 能够充分利用生产线的空间，增加洁净室的有效使用面积，而且还支持高频次的物料进 出，以适应自动搬运的要求。洁净立体仓库的洁净度一般可达Class1000级 ，最高可达Class10级 ，确保了半导体制造 过程中的环境要求。通过与物料搬运设备无缝对接， 洁净立体仓库能够形成一体化的物流系统 ，提升整体生产效率和 产品质量 。

条款 ▼                                       规格▼

-设备尺寸                                   L6660× W1453× H4200

-载具类型                                   FOUP、FOSB

-储存数量                                   170PCS

-主轴速度                                   X轴 、Z轴 、叉取

-定位精度                                  ±0.5mm

-震动                                         ≤ 0.5G

-综合搬运能力                           >150,Cycle 20s

-噪音                                         ≤70dB

-洁净登记                                  CLASS 1000