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Furnace Robot
炉管机械手：
果纳炉管机械手是一种用于立式高温炉中多片晶圆取放的自动化传输装置。该机械手有两个末端执行机构，根据工况的不同，每次可以取放1片或者5片300mm的晶圆。
依托于高精度的运动部件、先进的检测单元和稳定的自研控制算法，果纳炉管机械手可在立式高温炉设备中可靠的工作。
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炉管机械手：
果纳炉管机械手是一种用于立式高温炉中多片晶圆取放的自动化传输装置。该机械手有两个末端执行机构，根据工况的不同，每次可以取放1片或者5片300mm的晶圆。
依托于高精度的运动部件、先进的检测单元和稳定的自研控制算法，果纳炉管机械手可在立式高温炉设备中可靠的工作。
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