N2 Purge

氮气充气工作台：

果纳半导体OHB N2Purge Station可 搭配AMHS自动化设备使用，兼容SECS/GEM通 讯协议。

采 用模块化设计，每组设备可按需配置1-4个 充气工位。

充气流量控制范围：1-50 SLM(根据客户需求可配置其它流量范围)。

符合SEMIS2,S23,F47标准。

充气性能(典型值)：

在35SLM的N,充气流量下，FOUP内的湿度在7分钟内可达到1% RH或更低

流量控制精度          ±0.2SLM

过滤效率                 ≥999999999%②0.003um

生产效率                 ≥85CPH 

充气功能：

前置充气

闲时充气

制程充气(自定义）

充气异常报警