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载片台

载片台（Loadport / SMIF / VCE / Mask-Opener）：

  • 机械结构、电气控制和软件驱动算法 全自主正向开发 
  • 核心应用参数直接对标国外同类产品，Loadport 具备N2 Purge功能 
  • 可根据客户核心需求做异质化开发 
  • 国内集成电路制造头部工厂LoadPort 批量替换中（已完成十余支）
上一个 : 大气机械手 下一个 : 对准器
载片台
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