OHT

天车OHT：

OHT( Overhead Transport System,空 中搬运系统 )是AMHS(Automated Mater ial Handling System,自动化物料搬运系统 )的重要组成部分， 广 泛应用于半导体制造等领域。该系统通过天花板上的轨道网络来运输物料容器(如 FOUP和 FOSB),避免了地面交通的干扰 ，提升了搬运效率和环境洁净度。尤其在大尺寸晶圆的处理上，OHT能有效缩短生产周 期，减少人力成本，并降低污染风险。

除了硬件设施外， OHT系统还集成了MCS( Material Control System, 物料控制系统 )、 MCP( Master Control Processor, 主控制处理器)以及OCSX OHT ControlSystem,天车调度控制系统等复杂的控制系统，负责管理和调度搬运设备，确保高效作业。通过结合智能算法和地图技术，OHT系统不仅能够优化物料搬运路径， 还 能通过模拟与数据分析进一步提升系统性能，增强整体生产效率和可靠性。

条款 ▼                                       规格▼

-外形尺寸                                   909× W404× H914

-载具类型                                   FOUP; FOSB

-运行速度                                   直线速度:5.4m/sec( MAX) 

                                                  曲线速度:1m/sec(MAX）

-振动加速度                                直线行走 ≤0.5g 

                                                  曲线行走 ≤1g

-横移行程                                   85mm(MAX）

-最大加速度                               5mS^2

-最大减加速度                            3m/S^2

-装载时间                                   12sec(Hoist3m)

-定位精度                                   ±1mm

-曲线半径                                   R500mm

-供电方式                                   非接触式供电

-洁净等级                                    CLASS100