产品型号:GN-01-1121AA
产品特点
EFEM是一个晶圆前端传输设备,可手动或自动与OHT/AGV对接。采用双臂机械手式机器人,通过多轴复合运动实现晶圆取放片,极大提高了传片效率。内部气流导向结构,保证晶圆传输过程的洁净度,保证内部空间洁净度满足ISO Class 1级别要求。
Ø 更高的传送量可通过安装两个对准器实现
Ø 可根据各类客户的应用需要,定制N 个 Loadport (N=2~8)
Ø 有真空吸附型和边缘夹持型可选
Ø 可应用于200mm和300mm产品(可选)
产品规格
传输对象:300mm晶圆,直径300mm±0.2mm,厚度775μm
载具:25槽300mm FOUP(SEMI E47.1), 25槽300mm FOSB (SEMI M31)
电源电压:单相AC 200-240V,50/60Hz
真空(压力源):-70Kpa~-100Kpa
压空(压力源):0.5Mpa~0.7Mpa
Throughput:≥180WPH
产品选项
Ø 自动示教系统
Ø 离子棒
Ø 化学过滤器
Ø 光栅
Ø Buffer
Ø RFID/Barcode Reader
Ø OCR
Ø E84
Ø 示教盒
产品布局(2-Load Port)