EFEM 2LP

产品详情



产品型号:GN-01-1121AA

产品特点

EFEM是一个晶圆前端传输设备,可手动或自动与OHT/AGV对接。采用双臂机械手式机器人,通过多轴复合运动实现晶圆取放片,极大提高了传片效率。内部气流导向结构,保证晶圆传输过程的洁净度,保证内部空间洁净度满足ISO Class 1级别要求。

 

Ø  更高的传送量可通过安装两个对准器实现

Ø  可根据各类客户的应用需要,定制N Loadport N=2~8

Ø  有真空吸附型和边缘夹持型可选

Ø  可应用于200mm300mm产品(可选)

 

产品规格

传输对象:300mm晶圆,直径300mm±0.2mm,厚度775μm

载具:25300mm FOUP(SEMI E47.1) 25300mm FOSB (SEMI M31)

电源电压:单相AC 200-240V50/60Hz

真空(压力源):-70Kpa~-100Kpa

压空(压力源):0.5Mpa~0.7Mpa

Throughput:≥180WPH


产品选项

Ø  自动示教系统

Ø  离子棒

Ø  化学过滤器

Ø  光栅

Ø  Buffer

Ø  RFID/Barcode Reader

Ø  OCR

Ø  E84

Ø  示教盒

 

 

产品布局(2-Load Port

EFEM 2LP
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