EFEM 2LP
产品详情
产品型号：GN-01-1121AA
产品特点
EFEM是一个晶圆前端传输设备，可手动或自动与OHT/AGV对接。采用双臂机械手式机器人，通过多轴复合运动实现晶圆取放片，极大提高了传片效率。内部气流导向结构，保证晶圆传输过程的洁净度，保证内部空间洁净度满足ISO Class 1级别要求。
Ø 更高的传送量可通过安装两个对准器实现
Ø 可根据各类客户的应用需要，定制N 个 Loadport （N=2~8）
Ø 有真空吸附型和边缘夹持型可选
Ø 可应用于200mm和300mm产品（可选）
产品规格
传输对象：300mm晶圆，直径300mm±0.2mm，厚度775μm
载具：25槽300mm FOUP(SEMI E47.1)， 25槽300mm FOSB (SEMI M31)
电源电压：单相AC 200-240V，50/60Hz
真空（压力源）：-70Kpa~-100Kpa
压空（压力源）：0.5Mpa~0.7Mpa
Throughput：≥180WPH
产品选项
Ø 自动示教系统
Ø 离子棒
Ø 化学过滤器
Ø 光栅
Ø Buffer
Ø RFID/Barcode Reader
Ø OCR
Ø E84
Ø 示教盒
产品布局（2-Load Port）
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